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無塵室節約能源技術手冊

2009/11/29 上午 12:00:00

摘要

台灣無塵室的數量越來越龐大,而在各個產業的使用上也越來越廣泛。其中,以半導體相關無塵室所佔的比重最多,超過了一半以上。改善無塵室的耗能,不但可節省能源,亦可節省成本,進而提高產品競爭力。本手冊首先將介紹無塵室的基本概念,然後是說明無塵室的耗能狀況與耗能原因。接下來將提出無塵室的各項節能措施,最後再附上無塵室節能的實際案例。

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